RPS-SONIC: Еталон за индустриализацията на ултразвуковото пулверизиране на TCO тънки филми

Във вълната на индустриализация на технологията за подготовка на прозрачни проводящи филми на TCO, RPS-SONIC, със своите целенасочени технологични изследвания и разработки и базиран на сценарий-дизайн, направи своето ултразвуково разпръскващо оборудване за основен избор на оборудване във фотоволтаиците, дисплеите и строителството. Той не само отговаря на основните изисквания на индустрията за „висока пропускливост на светлина, ниско съпротивление на листа и екологична ефективност“, но също така насърчава прехода на подготовката на TCO тънък филм от лабораторията към-мащабно производство чрез прецизен контрол на параметрите и стабилна работа.

Оборудването за пръскане с ултразвукова пулверизация RPS-SONIC, базирано на високо-технология за пулверизиране на вибрации с висока честота, формира диференцирана продуктова матрица за нуждите на подготовката на TCO тънък слой, като основните му технологични характеристики показват особено изключителна адаптивност към подготовката на TCO. Оборудването използва главно две високочестотни вибрационни схеми: 40kHz и 60kHz. Сред тях, 40kHz фокусирана ултразвукова пулверизираща дюза, чрез специален дизайн на канал за стесняване на потока, може да накара носещия газ да се събере равномерно и да пулверизира прекурсорния разтвор на TCO (като ITO, AZO, FTO sol) в еднакви капчици от 15-40μm. Грешката при равномерно разпределение на капчиците се контролира в рамките на ±3%, което идеално отговаря на прецизните изисквания за дебелина на TCO филми от 10nm-500nm. За прекурсорни разтвори на TCO с нисък-вискозитет (0 cps), оборудването постига прецизен контрол на потока от 0,5-20 ml/min. В комбинация с регулируема височина на пръскане от 30-80 mm и дизайн на водача на потока с ниско налягане от 0,5 MPa, той избягва проблемите с пръскането на капчици при традиционното пръскане под налягане, като същевременно осигурява плътно отлагане на капчици върху повърхността на субстрата. Това води до флуктуации на съпротивлението на TCO филмовия лист, контролирани в рамките на ±5%, и пропускливост на видима светлина, стабилизирана на 85%-95%, отговаряйки напълно на изискванията за производителност на приложения от висок клас като фотоволтаични клетки и гъвкави дисплеи.

Надграждайки основните предимства на подготовката на TCO филм, RPS-SONIC допълнително усилва промишлената стойност на технологията за ултразвукова атомизация. Първо, оборудването може да се похвали със значителни предимства при използване на материали и контрол на разходите. Чрез „разпръскване без налягане“ и фокусиран дизайн на пръскане, степента на използване на прекурсорния разтвор на TCO достига до 90%, спестявайки над 80% от консумацията на материал в сравнение с традиционните процеси на магнетронно разпрашване. Това е особено полезно при подготовката на ITO тънки филми, където ресурсите на индий са оскъдни, тъй като значително намалява загубата на благороден метал, като по този начин намалява производствените разходи за предприятията. Второ, той показва изключително силна съвместимост със субстрата. Оборудването използва много ниска кинетична енергия на капките по време на пулверизиране, което представлява типичен процес на подготовка при ниска-температура. Това го прави подходящ не само за твърди субстрати като стъкло и силиконови пластини, но и за гъвкави субстрати като PET и PI. Това разрешава болезнените точки на традиционните процеси при подготовката на гъвкави TCO тънки филми, които лесно водят до деформация на субстрата и влошаване на производителността, осигурявайки надеждно решение за производство на TCO тънки филми в области като гъвкави OLED дисплеи и устройства за носене. Трето, съчетава мащабируемост и стабилност. Оборудването поддържа множество-дюзови масиви с единична ширина на пръскане от 1-3 метра. В комбинация с регулируем дизайн на мощността от 10-100W, той може да отговори на нуждите на малки-сериди за научноизследователска и развойна дейност в лаборатории, както и на широкомащабното производство на устройства с големи размери като фотоволтаични модули и архитектурно стъкло. Освен това оборудването няма движещи се части, които се износват, а дюзите са по-малко склонни към запушване, намалявайки прекъсванията на производството и гарантирайки стабилността на непрекъснатото производство.

По отношение на промишленото приложение, ултразвуковото разпръскващо оборудване RPS-SONIC е установило няколко еталонни случая в областта на подготовката на тънък филм TCO. Във фотоволтаичната индустрия неговото оборудване се използва за пръскане на AZO/TCO прозрачен проводящ слой на перовскитни слънчеви клетки. Чрез прецизно контролиране на размера на капките и скоростта на отлагане, ефективността на фотоелектричното преобразуване на клетките се подобрява с 2-3 процентни пункта. Понастоящем той е навлязъл в пилотната линия на перовскит-силициеви хетеропреходни тандемни клетки на ниво 1GW на водеща местна фотоволтаична компания, което спомага за постигането на широкомащабно масово производство. В областта на дисплея, за подготовката на ITO/PET композитни филми за гъвкави OLED екрани, оборудването все още може да гарантира, че скоростта на промяна на съпротивлението на листа на TCO филма е по-малка от 10% и пропускливостта на светлина остава над 92% върху гъвкав субстрат с радиус на огъване от 5 mm.

Това помага на производителите надолу по веригата да подобрят добива на гъвкави екрани от 75% с традиционни процеси до 88%, превръщайки се в основна поддръжка на оборудването за веригата на индустрията за гъвкави дисплеи. В областта на архитектурното интелигентно стъкло, оборудването се използва за пръскане на AZO прозрачни проводими филми за електрохромно стъкло, като се постига контрол на грешката на дебелината от ±2nm. Това води до скорост на електрохромна реакция по-малка или равна на 10 секунди и експлоатационен живот от над 100 000 цикъла. В същото време високата пропускливост на светлина и устойчивостта на корозия на фолиото осигуряват дългосрочна-стабилна работа на интелигентното стъкло и то се прилага за производството на интелигентни прозорци в много-строителни проекти от висок клас у нас и в чужбина. Освен това оборудването на Hangzhou Gonglu може да се похвали с изключителна гъвкавост, като позволява не само масовото приготвяне на тънък слой TCO, но и композитно пръскане на функционални филми като анти{12}}мъгла и анти{13}}корозионни покрития с TCO слоеве. Например, той може едновременно да пръска FTO прозрачен проводим слой и анти{15}}замърсяващо покритие върху повърхността на фотоволтаичното стъкло, като допълнително подобрява цялостната производителност на устройството. В бъдеще, с популяризирането на TCO материали без -индий (като AZO и GZO) и интегрирането на технология за визуална инспекция с изкуствен интелект, оборудването на Hangzhou Gonglu се очаква да постигне още по-високи цели за производителност, включително пропускливост на светлина над 98% и съпротивление на листа под 5Ω/□, като непрекъснато стимулира екологизирането и усъвършенстването на технологията за подготовка на TCO тънък филм.

Като промишлен еталон в областта на ултразвуковото пръскане, оборудването RPS-SONIC, със своя прецизен контрол на параметрите, стабилна работа и широка адаптивност на приложението, осигурява основна поддръжка за широко{1}}мащабно, високо-качествено производство на TCO прозрачни проводими филми. Неговите технически решения не само отговарят на настоящите нужди за развитие на оптоелектронната индустрия, но също така ще играят решаваща роля в технологичните иновации в нововъзникващи области като гъвкава електроника и нова енергия в бъдеще.